FLUORO福樂(lè) 非接觸式晶圓傳輸卡盤 BC-K12-300
特點(diǎn):
主體有20度、45度、90度三種手柄角度可選,平放的BC-K系列兼容2英寸至12英寸尺寸。(使用角度是固定的,不更換主體就無(wú)法改變。)
導(dǎo)向擋塊具有平緩的錐度,因此它會(huì)在一點(diǎn)與晶圓的邊緣接觸。
導(dǎo)向環(huán)由防靜電聚碳酸酯制成,可以目視確認(rèn)定位和吸附狀態(tài)。
主體采用導(dǎo)電尼龍樹脂制成,以減輕重量。
其兩面均印刷有圖案,可以處理難以處理的50μm薄晶圓。
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