型號 | WHA-200AS | WHA-300AS | WHA-450AS | |
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搬運工件 | 晶片 | |||
工件尺寸 | φ200 | φ300 | φ450 | |
搬運方式 | 邊緣夾具 | |||
搬運數量 | 1片 | |||
驅動方式 | 閉合方向 | 彈簧(夾具方式) | ||
開啟方向 | 真空壓力-60KPa ~ 95KPa(采用負壓氣缸) | |||
工作行程 | 10mm(夾7mm 鉗3mm) | |||
抓力 | 2.4N ~1.9N | 約7N | ||
潔凈度 | FED規(guī)格 1級(需吸附) | |||
牙叉(fork)材質 | CFRP | |||
緊固件?擋片?墊板 | PEEK | |||
主體質量 | 約0.4kg | 約0.5kg | 約1.7kg | |
選項 | 開閉確認傳感器 |
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